在热处理过程中，内应力的形成是不断发生瞬时变化的，其大小、方向和分布状态随着温度的变化和组织转变的进程而不断改变。因此，由内应力引起的畸变就比较复杂。

电热处理产生的内应力主要 是热应力和组织应力两类。 工件在加热和冷却时，一方面由于内外存在温差而引起比体积差，同时，表面与心部的不等时性相交也金为时处热应力和组织应力综合作用的结果。热应力是温度梯度的函数，体积差，这种比体积差便是热处理应力产生的根本原因。而工件的残余应力则元它取决于加热温度、加热速度、工件截面厚度的差异程度、材料的散热率、比热容、膨胀系数，以及加热、冷却的均匀性等。组织应力取决于马氏体转变温度、马氏体的正方性及残留奥氏体量。此外，钢的淬透性、钢的原始组织、淬火温度、冷却速度也是影响组织应力的重要因素。